測(cè)定方法：
①在防靜電的室內(nèi)(丙烯樹脂制、不銹鋼制)設(shè)置氣缸
②提供與顆粒計(jì)數(shù)器吸入量（28.3/min）相同流量的潔凈空氣（0.1μm過濾器）
③在不動(dòng)作狀態(tài)，確認(rèn)顆粒計(jì)數(shù)器的值為“0”
④使氣缸動(dòng)作,測(cè)量動(dòng)作中產(chǎn)生的顆粒
※使用帶密封的測(cè)試室,以確保除氣缸發(fā)塵外,其他的顆粒不進(jìn)入室內(nèi)
測(cè)定條件：
空氣
氣缸驅(qū)動(dòng)用：「等2.2.1」（JISB8392－1）
凈化用：「等2.2.1」＋0.1μｍ氣體過濾器
氣缸供應(yīng)壓力：0.5MPa
氣缸動(dòng)作速度：一般速度（200mm/s）
動(dòng)作條件：無(wú)負(fù)荷、水平設(shè)置（與凈化流量平行）
對(duì)排氣處理型的溢流氣口配管，排放到測(cè)試室外
對(duì)真空除塵型的真空除塵氣口配管，進(jìn)行真空除塵（－26KPa）
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